用于碳化硅外延设备的石墨快拆装置和碳化硅外延设备

被引：0

申请号：

CN202220012029.1

申请日：

2022-01-05

公开(公告)号：

CN216473581U

公开(公告)日：

2022-05-10

发明(设计)人：

卢勇蒲勇赵鹏

申请人：

申请人地址：

215125 江苏省苏州市苏州工业园区若水路388号

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B3500

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅外延设备 [P].

杨龙 ;

吴会旺 ;

李召永 ;

白春杰 ;

李伟峰 ;

张国良 ;

袁肇耿 ;

薛宏伟 .

中国专利 :CN216514256U ,2022-05-13

[2]

碳化硅外延设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

吴正闪 ;

朱亮 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN221480160U ,2024-08-06

[3]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150A ,2025-09-16

[4]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150B ,2025-10-28

[5]

碳化硅外延设备及碳化硅外延层制备方法 [P].

刘兴昉 ;

杨尚宇 ;

闫果果 ;

王雷 ;

赵万顺 ;

孙国胜 ;

曾一平 .

中国专利 :CN115852490B ,2025-08-29

[6]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN103946953A ,2014-07-23

[7]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN107452784A ,2017-12-08

[8]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095B ,2025-08-08

[9]

碳化硅外延片的制备方法和碳化硅外延生长设备 [P].

李哲洋 ;

王迦卉 ;

于乐 ;

金锐 .

中国专利 :CN119877095A ,2025-04-25

[10]

碳化硅外延生长环和碳化硅外延生长装置 [P].

丁昌钊 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

谢春林 ;

周维 .

中国专利 :CN222861711U ,2025-05-13

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