频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210587127.9

申请日：

2012-12-28

公开(公告)号：

CN103187968B

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

戴维·J·库莫

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H03L502

IPC分类号：

H03F156 H03H1128

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

康泉;宋志强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	授权	授权
2013-07-03	公开	公开
2014-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101566521811 IPC(主分类):H03L 5/02 专利申请号:2012105871279 申请日:20121228

共 50 条

[1]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN106411272A ,2017-02-15

[2]

一种NNBI射频功率源输出功率控制系统 [P].

王明伟 ;

李菲 ;

王姗 ;

程辉 ;

王峄铭 ;

李强华 ;

雷涛 ;

迟青松 ;

胡凌峰 ;

苏玉忠 ;

吕定洪 ;

孙振宇 ;

钟亮 ;

葛锐 ;

鲍玉杰 .

中国专利 :CN115061529A ,2022-09-16

[3]

基于预失真的功率控制 [P].

D·M·辛诺夫 ;

R·威诺托 .

中国专利 :CN105765862B ,2016-07-13

[4]

频率和相位的多射频功率源控制 [P].

戴维·J·库莫 ;

迈克尔·L·科克 ;

丹尼尔·M·吉尔 .

中国专利 :CN104124130A ,2014-10-29

[5]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101287327A ,2008-10-15

[6]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101896034A ,2010-11-24

[7]

功率源控制系统 [P].

李俊宏 ;

李东亚 ;

肖阳 ;

王儒桥 ;

王成 .

中国专利 :CN120803197A ,2025-10-17

[8]

功率源控制系统 [P].

李俊宏 ;

李东亚 ;

肖阳 ;

王儒桥 ;

王成 .

中国专利 :CN120803197B ,2025-12-26

[9]

基于温度补偿的射频功率源低电平闭环幅度控制系统 [P].

梁富林 ;

龙平 ;

张百川 ;

高振中 .

中国专利 :CN112564695A ,2021-03-26

[10]

电气伺服控制系统功率转换装置 [P].

陈长青 ;

王伟国 ;

李博 .

中国专利 :CN100423429C ,2006-03-22

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