频率和相位的多射频功率源控制

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410171657.4

申请日：

2014-04-25

公开(公告)号：

CN104124130A

公开(公告)日：

2014-10-29

发明(设计)人：

戴维·J·库莫迈克尔·L·科克丹尼尔·M·吉尔

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H05H146

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

康泉;宋志强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101593339170 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014101716574 申请日:20140425
2017-07-28	授权	授权
2014-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN103187968B ,2013-07-03

[2]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN106411272A ,2017-02-15

[3]

监测射频功率源与波导之间的自动频率控制的方法和系统 [P].

宜帆 .

中国专利 :CN117899378A ,2024-04-19

[4]

监测射频功率源与波导之间的自动频率控制的方法和系统 [P].

宜帆 .

中国专利 :CN117899378B ,2025-04-18

[5]

基于频率可控的多源射频消融系统 [P].

鄢盛杰 ;

邬小玫 ;

顾恺灏 .

中国专利 :CN108852503A ,2018-11-23

[6]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN102202454A ,2011-09-28

[7]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN103648230A ,2014-03-19

[8]

智能射频功率源 [P].

张盘龙 ;

曲岩 ;

胡继润 .

中国专利 :CN113676146A ,2021-11-19

[9]

一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法 [P].

舒先来 ;

刘智民 ;

谢亚红 ;

蒋才超 ;

潘军军 ;

陈世勇 ;

刘胜 ;

崔庆龙 ;

谢远来 .

中国专利 :CN113485515A ,2021-10-08

[10]

用于等离子体处理设备的射频功率源装置和射频功率分配方法 [P].

赵军 ;

涂乐义 ;

王兆祥 .

中国专利 :CN112992636A ,2021-06-18

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