智能射频功率源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010400230.2

申请日：

2020-05-13

公开(公告)号：

CN113676146A

公开(公告)日：

2021-11-19

发明(设计)人：

张盘龙曲岩胡继润

申请人：

申请人地址：

100077 北京市丰台区西罗园8号楼404

IPC主分类号：

H03G900

IPC分类号：

H03G100 H03F102 H03F130

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

大功率全固态射频功率源 [P].

牟文智 ;

丁义国 ;

张龙华 ;

高允贵 ;

宋爱军 ;

顾鸿章 ;

周卫江 .

中国专利 :CN3385084D ,2004-08-11

[2]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN102202454A ,2011-09-28

[3]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN103648230A ,2014-03-19

[4]

一种射频功率源和射频解冻装置 [P].

李俊宏 ;

杨华 ;

王彦斌 .

中国专利 :CN106234557A ,2016-12-21

[5]

一种射频功率源和射频解冻装置 [P].

李俊宏 ;

杨华 ;

王彦斌 .

中国专利 :CN206227504U ,2017-06-09

[6]

一种自谐振射频功率源 [P].

竹磊 ;

卓英浩 .

中国专利 :CN106301290A ,2017-01-04

[7]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101287327A ,2008-10-15

[8]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101896034A ,2010-11-24

[9]

一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法 [P].

舒先来 ;

刘智民 ;

谢亚红 ;

蒋才超 ;

潘军军 ;

陈世勇 ;

刘胜 ;

崔庆龙 ;

谢远来 .

中国专利 :CN113485515A ,2021-10-08

[10]

射频功率源设备、加热装置及制冷设备 [P].

仲伟 ;

杜莉 .

中国专利 :CN113840410A ,2021-12-24

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