射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710039453.5

申请日：

2007-04-13

公开(公告)号：

CN101287327A

公开(公告)日：

2008-10-15

发明(设计)人：

陈金元尹志尧钱学煜倪图强饭塚浩

申请人：

申请人地址：

201201上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H05H130

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

专利权质押合同登记的生效、变更及注销

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101896034A ,2010-11-24

[2]

用于等离子体处理设备的射频功率源装置和射频功率分配方法 [P].

赵军 ;

涂乐义 ;

王兆祥 .

中国专利 :CN112992636A ,2021-06-18

[3]

射频等离子体源 [P].

李树瑜 .

中国专利 :CN203492261U ,2014-03-19

[4]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN102202454A ,2011-09-28

[5]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN103648230A ,2014-03-19

[6]

等离子体处理系统及等离子体处理室的射频功率输送方法 [P].

安德瑞斯·费舍尔 ;

巴巴科·卡德库达因 ;

安德拉斯·库蒂 .

中国专利 :CN1244134C ,2002-07-10

[7]

等离子体源线圈和使用该等离子体源线圈的等离子体室 [P].

金南宪 ;

李堵汉 ;

吴荣根 .

中国专利 :CN1938824A ,2007-03-28

[8]

等离子体源功率反射功率调控方法、系统及设备 [P].

潘小刚 ;

朱国俊 .

中国专利 :CN121077213A ,2025-12-05

[9]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN103187968B ,2013-07-03

[10]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN106411272A ,2017-02-15

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-05	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758727367 IPC(主分类):H05H 1/46 授权公告日:20110720 申请日:20070413 专利号:ZL2007100394535 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司解除日:20170809
2019-04-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备(上海)有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2008-10-15	公开	公开
2008-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-04-22	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712123045 IPC(主分类):H05H 1/46 专利号:ZL2007100394535 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司发明名称:射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室申请日:20070413 授权公告日:20110720
2011-07-20	授权	授权