可切换的射频功率源系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010130648.2

申请日：

2010-03-23

公开(公告)号：

CN102202454A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

尹志尧陈金元杜志游欧阳亮饭塚浩

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

王洁

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700959124 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2010101306482 申请公布日:20110928
2011-09-28	公开	公开
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101137313529 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2010101306482 申请日:20100323

共 50 条

[1]

可切换的射频功率源系统 [P].

尹志尧 ;

陈金元 ;

杜志游 ;

欧阳亮 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN103648230A ,2014-03-19

[2]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101287327A ,2008-10-15

[3]

射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室 [P].

陈金元 ;

尹志尧 ;

钱学煜 ;

倪图强 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN101896034A ,2010-11-24

[4]

智能射频功率源 [P].

张盘龙 ;

曲岩 ;

胡继润 .

中国专利 :CN113676146A ,2021-11-19

[5]

用于BNCT紧凑型射频功率源系统 [P].

荣林艳 ;

慕振成 ;

王博 ;

傅世年 ;

欧阳华甫 ;

王林 ;

肖永川 ;

谢哲新 ;

万马良 ;

张辉 ;

王禾欣 .

中国专利 :CN116582995B ,2025-09-02

[6]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN103187968B ,2013-07-03

[7]

频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统 [P].

戴维·J·库莫 .

中国专利 :CN106411272A ,2017-02-15

[8]

频率和相位的多射频功率源控制 [P].

戴维·J·库莫 ;

迈克尔·L·科克 ;

丹尼尔·M·吉尔 .

中国专利 :CN104124130A ,2014-10-29

[9]

一种射频功率源和射频解冻装置 [P].

李俊宏 ;

杨华 ;

王彦斌 .

中国专利 :CN106234557A ,2016-12-21

[10]

一种射频功率源和射频解冻装置 [P].

李俊宏 ;

杨华 ;

王彦斌 .

中国专利 :CN206227504U ,2017-06-09

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