SiC单晶体的制造装置以及SiC单晶体的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201280027428.4
申请日
2012-06-15
公开(公告)号
CN103620094A
公开(公告)日
2014-03-05
发明(设计)人
楠一彦 龟井一人 矢代将齐 冈田信宏 大黑宽典 加渡干尚 坂元秀光
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C30B2936
IPC分类号
C30B1906
代理机构
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人
刘新宇;张会华
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 [P]. 
冈田信宏 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
森口晃治 ;
大黑宽典 ;
铃木宽 ;
石井伴和 ;
坂元秀光 ;
加渡干尚 ;
河合洋一郎 .
中国专利 :CN103282559B ,2013-09-04
[2]
SiC单晶体的制造装置和SiC单晶体的制造方法 [P]. 
冈田信宏 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
森口晃治 ;
大黑宽典 ;
加渡幹尚 ;
坂元秀光 .
中国专利 :CN104471117B ,2015-03-25
[3]
SiC单晶体的制造方法 [P]. 
加渡干尚 ;
楠一彦 ;
龟井一人 .
中国专利 :CN104603336A ,2015-05-06
[4]
SiC单晶体的制造装置、在制造装置中使用的夹具以及SiC单晶体的制造方法 [P]. 
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
冈田信宏 ;
加渡干尚 ;
坂元秀光 ;
大黑宽典 .
中国专利 :CN103282558A ,2013-09-04
[5]
单晶制造装置、单晶制造方法及单晶体 [P]. 
永井邦彦 ;
小平纮平 ;
田中启之 ;
坂本英树 .
中国专利 :CN1272145A ,2000-11-01
[6]
单晶体的制造方法和制造装置 [P]. 
佐藤利行 .
中国专利 :CN105543950B ,2016-05-04
[7]
基于溶液生长法的SiC单晶体的制造装置及其坩埚 [P]. 
龟井一人 ;
楠一彦 ;
矢代将齐 ;
冈田信宏 ;
大黑宽典 ;
加渡干尚 ;
坂元秀光 .
中国专利 :CN103597129B ,2014-02-19
[8]
蓝宝石单晶体的制造装置 [P]. 
干川圭吾 ;
宫川千宏 ;
中村太一 ;
小林拓实 .
中国专利 :CN102191535B ,2011-09-21
[9]
SiC单晶的制造方法、SiC单晶的制造装置以及SiC单晶晶片 [P]. 
金子忠昭 .
中国专利 :CN114423889A ,2022-04-29
[10]
SiC单晶的制造方法、SiC单晶的制造装置以及SiC单晶晶片 [P]. 
金子忠昭 .
日本专利 :CN114423889B ,2024-07-09