一种半导体设备的器件清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822146938.0

申请日：

2018-12-20

公开(公告)号：

CN209255385U

公开(公告)日：

2019-08-16

发明(设计)人：

范新亭

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇恒盛路505号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

苏州国诚专利代理有限公司 32293

代理人：

王丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-16	授权	授权
2022-11-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20181220 授权公告日:20190816 终止日期:20211220

共 50 条

[1]

半导体设备的器件清洗装置 [P].

李景伦 .

中国专利 :CN201505647U ,2010-06-16

[2]

一种半导体清洗设备 [P].

徐贺 ;

张朋飞 ;

王子会 .

中国专利 :CN221109203U ,2024-06-11

[3]

半导体清洗装置和半导体设备 [P].

杜明利 ;

郑晓芬 ;

雷康 .

中国专利 :CN216064523U ,2022-03-18

[4]

一种半导体生产加工用清洗装置 [P].

刘伟阳 .

中国专利 :CN213103568U ,2021-05-04

[5]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN214262977U ,2021-09-24

[6]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

徐宏进 .

中国专利 :CN210546647U ,2020-05-19

[7]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

金松鹤 .

中国专利 :CN213613007U ,2021-07-06

[8]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

韩猛 ;

马国乾 .

中国专利 :CN212069670U ,2020-12-04

[9]

一种半导体封装清洗装置 [P].

周皓 ;

李孟泽 ;

赵立群 ;

刘杰 ;

韩婉琳 .

中国专利 :CN223382170U ,2025-09-26

[10]

一种半导体晶元稳定清洗的超声波清洗装置 [P].

衷福永 .

中国专利 :CN223027986U ,2025-06-27

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