半导体清洗装置和半导体设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122408274.2

申请日：

2021-09-30

公开(公告)号：

CN216064523U

公开(公告)日：

2022-03-18

发明(设计)人：

杜明利郑晓芬雷康

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

F26B2100 H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[2]

半导体清洗液供给系统和半导体设备 [P].

屈文晶 ;

沈雪松 .

中国专利 :CN220371765U ,2024-01-23

[3]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[4]

半导体清洗载具和半导体清洗设备 [P].

张洋 .

中国专利 :CN120341146A ,2025-07-18

[5]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

[6]

半导体清洗设备 [P].

闫亮 ;

王广永 .

中国专利 :CN216988825U ,2022-07-19

[7]

半导体设备的排放装置和半导体设备 [P].

刘轩 ;

王军 ;

马一楠 .

中国专利 :CN221407247U ,2024-07-23

[8]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

[9]

半导体设备的器件清洗装置 [P].

李景伦 .

中国专利 :CN201505647U ,2010-06-16

[10]

半导体清洗设备 [P].

朴灵绪 ;

吴镐硕 ;

张怀东 .

中国专利 :CN218004783U ,2022-12-09

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