一种半导体设备的器件清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922362838.6

申请日：

2019-12-25

公开(公告)号：

CN212069670U

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

韩猛马国乾

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市江岸区江汉北路164号(云湖大厦)1栋9层9室

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B312 B08B1300 H01L2167

代理机构：

湖北天领艾匹律师事务所 42252

代理人：

罗浩

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20191225 授权公告日:20201204 终止日期:20211225
2020-12-04	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体设备的器件清洗装置 [P].

李景伦 .

中国专利 :CN201505647U ,2010-06-16

[2]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN214262977U ,2021-09-24

[3]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

徐宏进 .

中国专利 :CN210546647U ,2020-05-19

[4]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

金松鹤 .

中国专利 :CN213613007U ,2021-07-06

[5]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

范新亭 .

中国专利 :CN209255385U ,2019-08-16

[6]

一种半导体扩散炉管的清洗装置 [P].

陈康 ;

张啟涛 ;

刘四化 ;

王宜 .

中国专利 :CN216282845U ,2022-04-12

[7]

半导体设备的器件清洗设备 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN210358285U ,2020-04-21

[8]

一种半导体器件的清洗装置 [P].

蔡永晔 ;

唐飞 .

中国专利 :CN207966925U ,2018-10-12

[9]

半导体清洗装置和半导体设备 [P].

杜明利 ;

郑晓芬 ;

雷康 .

中国专利 :CN216064523U ,2022-03-18

[10]

一种便于调节的半导体清洗装置 [P].

颜军 .

中国专利 :CN223083386U ,2025-07-11

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