半导体设备的器件清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921021596.8

申请日：

2019-07-03

公开(公告)号：

CN210358285U

公开(公告)日：

2020-04-21

发明(设计)人：

王迪杏蒋伟王宁张阳秦文兵王金裕苗全盛路阳王伟顾育琪

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城1-805

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-21	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体设备的器件清洗装置 [P].

李景伦 .

中国专利 :CN201505647U ,2010-06-16

[2]

一种半导体设备的器件清洗装置 [P].

范新亭 .

中国专利 :CN209255385U ,2019-08-16

[3]

一种半导体设备的器件清洗设备 [P].

邓胜万 .

中国专利 :CN111495864A ,2020-08-07

[4]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[5]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[6]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

[7]

半导体清洗设备 [P].

王宝生 ;

唐斌 .

中国专利 :CN217289621U ,2022-08-26

[8]

半导体清洗设备 [P].

朴灵绪 ;

吴镐硕 ;

张怀东 .

中国专利 :CN218004783U ,2022-12-09

[9]

半导体清洗设备 [P].

孙建涵 ;

陈超 .

中国专利 :CN222530377U ,2025-02-25

[10]

半导体清洗设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208336163U ,2019-01-04

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