一种对准装置和对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511031863.6

申请日：

2015-12-31

公开(公告)号：

CN106933055A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

周钰颖陆海亮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-07	公开	公开
2019-04-12	授权	授权
2017-09-08	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758779242 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015110318636 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738377207 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015110318636 申请日:20151231

共 50 条

[1]

一种对准装置和方法 [P].

徐文 ;

王帆 .

中国专利 :CN103197518B ,2013-07-10

[2]

一种用于光刻设备的对准装置及对准方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 .

中国专利 :CN105988309B ,2016-10-05

[3]

对准装置和对准方法 [P].

黃松怡 ;

林惠知 .

韩国专利 :CN118398539A ,2024-07-26

[4]

对准装置和对准方法 [P].

卡尔·H·皮拉瓦瑟 ;

播冈好之 ;

池端谦 ;

柿沼良典 ;

石松阳介 ;

泽山良太 .

中国专利 :CN112020769A ,2020-12-01

[5]

对准装置和对准方法 [P].

卡尔·H·皮拉瓦瑟 ;

播冈好之 ;

池端谦 ;

柿沼良典 ;

石松阳介 ;

泽山良太 .

德国专利 :CN112020769B ,2025-04-29

[6]

对准装置和对准方法 [P].

木村孔 ;

中尾裕利 ;

柴智志 ;

坂内雄也 .

中国专利 :CN104904002A ,2015-09-09

[7]

一种用于光刻设备的近场对准装置和对准方法 [P].

杜聚有 ;

徐荣伟 ;

宋海军 .

中国专利 :CN102736452A ,2012-10-17

[8]

一种分时对准系统和对准方法 [P].

徐兵 ;

王鹏程 ;

吕晓薇 .

中国专利 :CN101158816B ,2008-04-09

[9]

一种调焦对准装置及对准方法 [P].

齐景超 ;

陈飞彪 ;

吴旭婷 ;

于大维 .

中国专利 :CN107168018A ,2017-09-15

[10]

一种用于光刻设备的对准装置和对准方法 [P].

杜聚有 ;

朱婧怡 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN102890433B ,2013-01-23

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