一种调焦对准装置及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610113256.2

申请日：

2016-02-29

公开(公告)号：

CN107168018A

公开(公告)日：

2017-09-15

发明(设计)人：

齐景超陈飞彪吴旭婷于大维

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F7207

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	授权	授权
2017-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/207 申请日:20160229
2017-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

对准装置及对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119786419A ,2025-04-08

[2]

一种自动调焦的对准系统及对准方法 [P].

于大维 .

中国专利 :CN106292203B ,2017-01-04

[3]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

高安 ;

邢奕飞 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690596A ,2022-07-01

[4]

对准装置、光刻机及对准方法 [P].

高安 ;

邢奕飞 ;

孙建超 .

中国专利 :CN114690596B ,2025-05-20

[5]

一种对准装置及对准方法 [P].

张根连 ;

禹洪亮 ;

吴火亮 .

中国专利 :CN119230463A ,2024-12-31

[6]

一种对准装置及对准方法 [P].

张根连 ;

禹洪亮 ;

吴火亮 .

中国专利 :CN119230463B ,2025-02-28

[7]

一种对准装置及对准方法 [P].

张俊 .

中国专利 :CN103576467A ,2014-02-12

[8]

一种对准装置和对准方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 .

中国专利 :CN106933055A ,2017-07-07

[9]

对准装置及对准方法 [P].

川越理史 ;

増市干雄 ;

上野博之 ;

上野美佳 ;

谷口和隆 ;

正司和大 ;

芝藤弥生 ;

田中哲夫 ;

陶山武史 .

中国专利 :CN107443883A ,2017-12-08

[10]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104465472A ,2015-03-25

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