一种对准装置及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411765218.6

申请日：

2024-12-04

公开(公告)号：

CN119230463B

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

张根连禹洪亮吴火亮

申请人：

上海隐冠半导体技术有限公司

申请人地址：

201206 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241204
2024-12-31	公开	公开
2025-02-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种对准装置及对准方法 [P].

张根连 ;

禹洪亮 ;

吴火亮 .

中国专利 :CN119230463A ,2024-12-31

[2]

一种晶圆对准装置及对准方法 [P].

张昊 ;

司伟 ;

田陈陈 ;

谭永旭 .

中国专利 :CN114823454A ,2022-07-29

[3]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104465472A ,2015-03-25

[4]

对准装置及对准方法 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN110634786A ,2019-12-31

[5]

一种晶圆实时对准装置及对准方法 [P].

任潮群 ;

闫鑫 ;

崔建敏 ;

陈泳 .

中国专利 :CN118471878A ,2024-08-09

[6]

一种晶圆实时对准装置及对准方法 [P].

任潮群 ;

闫鑫 ;

崔建敏 ;

陈泳 .

中国专利 :CN118471878B ,2024-10-25

[7]

一种晶圆对准装置及其对准方法 [P].

杨光 ;

司伟 .

中国专利 :CN112053985B ,2024-02-02

[8]

一种晶圆对准装置及对准方法 [P].

陆宏杰 ;

杨青 ;

庞陈雷 ;

王智 ;

王兴锋 ;

牛春阳 ;

郭晋竹 ;

翟利军 ;

刘旭 .

中国专利 :CN114975213B ,2022-11-18

[9]

一种晶圆对准装置及其对准方法 [P].

杨光 ;

司伟 .

中国专利 :CN112053985A ,2020-12-08

[10]

一种对准装置及对准方法 [P].

张俊 .

中国专利 :CN103576467A ,2014-02-12

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