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一种晶圆对准装置及对准方法

被引：0
申请号：
CN202210528470.X
申请日：
2022-05-16
公开(公告)号：
CN114823454A
公开(公告)日：
2022-07-29
发明(设计)人：
张昊 司伟 田陈陈 谭永旭
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京头头知识产权代理有限公司 11729
代理人：
白芳仿;刘锋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-16 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20220516
2022-07-29 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆对准光学检测装置及晶圆对准检测系统 [P]. 
谭博宁 ;
张鸣 .
中国专利 :CN120878584A ,2025-10-31
[2]
晶圆对准装置及晶圆键合设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN120033134A ,2025-05-23
[3]
晶圆对准方法及晶圆对准装置 [P]. 
张党柱 ;
赖政聪 ;
古哲安 ;
黄志凯 ;
叶日铨 .
中国专利 :CN108735645A ,2018-11-02
[4]
晶圆对准装置和晶圆对准方法 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN120109067A ,2025-06-06
[5]
晶圆对准方法及对准装置 [P]. 
田陈陈 ;
司伟 ;
张昊 ;
谭永旭 .
中国专利 :CN115632018A ,2023-01-20
[6]
晶圆对准标记、制作方法、晶圆对准装置及晶圆对准方法 [P]. 
季明华 .
中国专利 :CN115172331B ,2025-05-27
[7]
晶圆对准臂及晶圆对准装置 [P]. 
杨轩毅 ;
任瑞 ;
刘普然 .
中国专利 :CN217485421U ,2022-09-23
[8]
一种晶圆对准装置及对准方法 [P]. 
陆宏杰 ;
杨青 ;
庞陈雷 ;
王智 ;
王兴锋 ;
牛春阳 ;
郭晋竹 ;
翟利军 ;
刘旭 .
中国专利 :CN114975213B ,2022-11-18
[9]
晶圆对准装置以及晶圆对准方法 [P]. 
胡剑翔 .
中国专利 :CN119542225A ,2025-02-28
[10]
对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法 [P]. 
王德进 ;
马东旭 ;
舒贻胜 ;
刘远坤 .
中国专利 :CN116581077B ,2025-10-28
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