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一种晶圆对准装置及对准方法
被引：0
申请号：
CN202210528470.X
申请日：
2022-05-16
公开(公告)号：
CN114823454A
公开(公告)日：
2022-07-29
发明(设计)人：
张昊
司伟
田陈陈
谭永旭
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京头头知识产权代理有限公司 11729
代理人：
白芳仿;刘锋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20220516 |
| 2022-07-29 | 公开 | 公开 |