一种晶圆预对准方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411915204.8

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119694963A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

王龙董立波刘学

申请人：

北京康视杰智能科技有限公司

申请人地址：

100000 北京市大兴区北京经济技术开发区（通州）经海五路58号院5幢7层707-1室

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

代理机构：

无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471

代理人：

王清伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	公开	公开
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241224

共 50 条

[1]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[2]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[3]

一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

付红艳 ;

郎新科 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114695225A ,2022-07-01

[4]

晶圆预对准装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 ;

霍旭坤 .

中国专利 :CN309051024S ,2025-01-03

[5]

晶圆预对准装置、半导体设备及预对准方法 [P].

周悦 ;

相春昌 .

中国专利 :CN120690734A ,2025-09-23

[6]

晶圆预对准方法及装置 [P].

曲道奎 ;

李学威 ;

张鹏 ;

柴源 ;

何元一 ;

温燕修 .

中国专利 :CN103811387B ,2014-05-21

[7]

一种晶圆预对准装置和预对准方法 [P].

章秀国 ;

叶莹 .

中国专利 :CN113921437A ,2022-01-11

[8]

一种晶圆对准装置及对准方法 [P].

张昊 ;

司伟 ;

田陈陈 ;

谭永旭 .

中国专利 :CN114823454A ,2022-07-29

[9]

晶圆预对准机构 [P].

朱朋旭 ;

李康平 ;

刘冰鑫 ;

王超 ;

方敏晰 .

中国专利 :CN119297142A ,2025-01-10

[10]

晶圆预对准方法 [P].

曲道奎 ;

陈为廉 ;

王金涛 ;

邹风山 ;

姜楠 .

中国专利 :CN102543808A ,2012-07-04

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