晶圆预对准装置及晶圆预对准系统

被引：0

申请号：

CN202210254192.3

申请日：

2022-03-15

公开(公告)号：

CN114664719A

公开(公告)日：

2022-06-24

发明(设计)人：

王洪宇李思杨树文李霖于朋扬

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21683 H01L2167

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

毕翔宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-24	公开	公开
2022-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20220315

共 50 条

[1]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[2]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376A ,2022-02-18

[3]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376B ,2025-08-12

[4]

晶圆预对准装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 ;

霍旭坤 .

中国专利 :CN309051024S ,2025-01-03

[5]

晶圆预对准机构 [P].

朱朋旭 ;

李康平 ;

刘冰鑫 ;

王超 ;

方敏晰 .

中国专利 :CN119297142A ,2025-01-10

[6]

晶圆预对准装置 [P].

邓帅飞 ;

肖蓉 ;

李运锋 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN215299213U ,2021-12-24

[7]

晶圆预对准装置 [P].

边弘晔 ;

张鹏 ;

陈守良 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

温燕修 ;

邹风山 .

中国专利 :CN103199050B ,2013-07-10

[8]

晶圆预对准装置 [P].

杨涧 ;

王通 ;

吕瑞卿 .

中国专利 :CN220856535U ,2024-04-26

[9]

晶圆预对准装置 [P].

郎叶威 ;

蒋志韬 ;

冯金武 .

中国专利 :CN222673000U ,2025-03-25

[10]

晶圆预对准设备 [P].

陆敏杰 .

中国专利 :CN306197136S ,2020-11-27

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