晶圆预对准装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421257486.2

申请日：

2024-06-04

公开(公告)号：

CN222673000U

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

郎叶威蒋志韬冯金武

申请人：

中国计量大学

申请人地址：

310018 浙江省杭州市钱塘新区白杨街道学源街258号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省金华市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆预对准装置 [P].

邓帅飞 ;

肖蓉 ;

李运锋 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN215299213U ,2021-12-24

[2]

晶圆预对准装置 [P].

杨涧 ;

王通 ;

吕瑞卿 .

中国专利 :CN220856535U ,2024-04-26

[3]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[4]

一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

付红艳 ;

郎新科 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114695225A ,2022-07-01

[5]

晶圆预对准机构 [P].

朱朋旭 ;

李康平 ;

刘冰鑫 ;

王超 ;

方敏晰 .

中国专利 :CN119297142A ,2025-01-10

[6]

晶圆预对准装置 [P].

边弘晔 ;

张鹏 ;

陈守良 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

温燕修 ;

邹风山 .

中国专利 :CN103199050B ,2013-07-10

[7]

晶圆预对准装置 [P].

陈庆生 ;

赵相宰 ;

霍旭坤 .

中国专利 :CN309051024S ,2025-01-03

[8]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[9]

晶圆预对准设备 [P].

陆敏杰 .

中国专利 :CN306197136S ,2020-11-27

[10]

晶圆预对准方法 [P].

曲道奎 ;

陈为廉 ;

王金涛 ;

邹风山 ;

姜楠 .

中国专利 :CN102543808A ,2012-07-04

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