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晶圆对准光学检测装置及晶圆对准检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510786325.5
申请日：
2025-06-12
公开(公告)号：
CN120878584A
公开(公告)日：
2025-10-31
发明(设计)人：
谭博宁
张鸣
申请人：
清华大学
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
郭金梅
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-31 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250612 |