晶圆检测预对准系统及方法

被引：0

申请号：

CN202210960746.1

申请日：

2022-08-11

公开(公告)号：

CN115472545A

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

潘华峰

申请人：

申请人地址：

314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路33号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海霖睿专利代理事务所(普通合伙) 31391

代理人：

黄燕石

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20220811
2022-12-13	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆检测预对准系统 [P].

潘华峰 .

中国专利 :CN218471919U ,2023-02-10

[2]

晶圆、对准系统及方法 [P].

汪韦刚 ;

薛晓凡 ;

柴杉杉 ;

樊永帅 ;

付宇 .

中国专利 :CN120613333A ,2025-09-09

[3]

晶圆的对准方法及对准系统 [P].

李其衡 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN111900116A ,2020-11-06

[4]

晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法 [P].

刘兆祥 .

中国专利 :CN109841547A ,2019-06-04

[5]

一种晶圆对准系统和晶圆对准方法 [P].

陈星 ;

王勇 .

中国专利 :CN104979258B ,2015-10-14

[6]

一种晶圆预对准系统、方法及存储介质 [P].

陈庆生 ;

霍旭坤 ;

王康飞 ;

赵相宰 .

中国专利 :CN119419159A ,2025-02-11

[7]

晶圆对准光学检测装置及晶圆对准检测系统 [P].

谭博宁 ;

张鸣 .

中国专利 :CN120878584A ,2025-10-31

[8]

一种晶圆接合对准系统及对准方法 [P].

李凡月 .

中国专利 :CN108598032B ,2018-09-28

[9]

预对准系统、预对准方法及光刻设备 [P].

靳力 ;

程建 ;

郑教增 .

中国专利 :CN111381451B ,2020-07-07

[10]

对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法 [P].

王德进 ;

马东旭 ;

舒贻胜 ;

刘远坤 .

中国专利 :CN116581077B ,2025-10-28

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