一种晶圆接合对准系统及对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810499801.5

申请日：

2018-05-23

公开(公告)号：

CN108598032B

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

李凡月

申请人：

申请人地址：

710018 陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L23544

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20180523
2018-09-28	公开	公开
2020-09-11	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆的对准方法及对准系统 [P].

李其衡 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN111900116A ,2020-11-06

[2]

一种晶圆对准方法、晶圆对准系统的控制器及系统 [P].

柳旭峰 ;

夏华栋 ;

滕菲 ;

王玉 ;

夏杰 ;

孙涛 ;

张亮 ;

蒋晓 .

中国专利 :CN118782524A ,2024-10-15

[3]

一种晶圆对准系统和晶圆对准方法 [P].

陈星 ;

王勇 .

中国专利 :CN104979258B ,2015-10-14

[4]

晶圆、对准系统及方法 [P].

汪韦刚 ;

薛晓凡 ;

柴杉杉 ;

樊永帅 ;

付宇 .

中国专利 :CN120613333A ,2025-09-09

[5]

一种晶圆定位对准系统、晶圆定位对准方法及台阶仪 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

曹文强 .

中国专利 :CN118782525A ,2024-10-15

[6]

晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法 [P].

刘兆祥 .

中国专利 :CN109841547A ,2019-06-04

[7]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[8]

一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统 [P].

张振久 ;

刘明俊 ;

肖海兵 .

中国专利 :CN208478309U ,2019-02-05

[9]

对准系统及对准方法 [P].

吴兆明 .

中国专利 :CN100451838C ,2006-01-04

[10]

一种晶圆对准系统、晶圆键合设备及晶圆键合对准方法 [P].

辛玄霸 ;

张羽成 ;

吕邵玮 .

中国专利 :CN120015679A ,2025-05-16

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