一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820814895.6

申请日：

2018-05-29

公开(公告)号：

CN208478309U

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

张振久刘明俊肖海兵

申请人：

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道龙翔大道2188号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281

代理人：

彭家恩;彭愿洁

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆对准系统及方法和用于晶圆对准的光学成像装置 [P].

张振久 ;

刘明俊 ;

肖海兵 .

中国专利 :CN108615699A ,2018-10-02

[2]

一种晶圆对准系统和晶圆对准方法 [P].

陈星 ;

王勇 .

中国专利 :CN104979258B ,2015-10-14

[3]

晶圆对准装置和晶圆对准方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120109067A ,2025-06-06

[4]

晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法 [P].

刘兆祥 .

中国专利 :CN109841547A ,2019-06-04

[5]

一种晶圆接合对准系统及对准方法 [P].

李凡月 .

中国专利 :CN108598032B ,2018-09-28

[6]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376A ,2022-02-18

[7]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376B ,2025-08-12

[8]

晶圆的对准方法及对准系统 [P].

李其衡 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN111900116A ,2020-11-06

[9]

一种晶圆对准方法、晶圆对准系统的控制器及系统 [P].

柳旭峰 ;

夏华栋 ;

滕菲 ;

王玉 ;

夏杰 ;

孙涛 ;

张亮 ;

蒋晓 .

中国专利 :CN118782524A ,2024-10-15

[10]

晶圆检测预对准系统 [P].

潘华峰 .

中国专利 :CN218471919U ,2023-02-10

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