一种晶圆预对准系统、方法及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411648179.1

申请日：

2024-11-19

公开(公告)号：

CN119419159A

公开(公告)日：

2025-02-11

发明(设计)人：

陈庆生霍旭坤王康飞赵相宰

申请人：

苏州盛拓半导体科技有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区（太湖新城）五方路899号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/66

代理机构：

北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264

代理人：

石铁岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-11	公开	公开
2025-02-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241119

共 50 条

[1]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376A ,2022-02-18

[2]

晶圆预对准方法、晶圆预对准系统和存储介质 [P].

芦海朋 ;

吴金明 ;

何中演 ;

田冲 ;

高波 ;

吴志宏 ;

李剑锋 ;

高云峰 .

中国专利 :CN114068376B ,2025-08-12

[3]

晶圆预对准装置及晶圆预对准系统 [P].

王洪宇 ;

李思 ;

杨树文 ;

李霖 ;

于朋扬 .

中国专利 :CN114664719A ,2022-06-24

[4]

晶圆检测预对准系统及方法 [P].

潘华峰 .

中国专利 :CN115472545A ,2022-12-13

[5]

晶圆检测预对准系统 [P].

潘华峰 .

中国专利 :CN218471919U ,2023-02-10

[6]

一种晶圆预对准方法 [P].

张波 ;

刘品宽 ;

朱晓博 ;

张帆 ;

梁家欣 .

中国专利 :CN103050427A ,2013-04-17

[7]

一种晶圆预对准装置和晶圆预对准方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

付红艳 ;

郎新科 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114695225A ,2022-07-01

[8]

晶圆预对准装置及晶圆预对准方法 [P].

金攀 ;

肖蓉 ;

周许超 ;

刘涛 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN117616548A ,2024-02-27

[9]

晶圆预对准方法及系统 [P].

崔攀 ;

汤庚 .

中国专利 :CN118335641A ,2024-07-12

[10]

一种方形晶圆预对准方法、系统、电子设备及存储介质 [P].

王家林 ;

罗杨 ;

崔洁 ;

牛岩 ;

祁雪飞 ;

菅彦彬 .

中国专利 :CN114664722B ,2025-08-29

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