悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721563410.2

申请日：

2017-11-21

公开(公告)号：

CN207456474U

公开(公告)日：

2018-06-05

发明(设计)人：

单华锋曹辉陈学刚於群王家冬曹凯敏郁源王哲琦

申请人：

申请人地址：

314016 浙江省嘉兴市秀洲区王江泾镇秋茂路158号

IPC主分类号：

G01D512

IPC分类号：

G01N2700

代理机构：

上海汉盛律师事务所 31316

代理人：

郭海锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-05	授权	授权

共 50 条

[1]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN108061563A ,2018-05-22

[2]

悬臂梁式压电薄膜加速度传感器 [P].

刘照安 ;

周长阳 ;

刘浩 ;

刘越 ;

惠国政 .

中国专利 :CN217007381U ,2022-07-19

[3]

压电悬臂梁传感器及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103594617A ,2014-02-19

[4]

多层压电薄膜悬臂梁传感器及制备方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 ;

陈力山 ;

张莉玮 .

中国专利 :CN105428519A ,2016-03-23

[5]

压电悬臂梁传感器结构制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103618044A ,2014-03-05

[6]

悬臂梁传感器 [P].

陆芳 ;

陈祺昶 .

中国专利 :CN306477203S ,2021-04-20

[7]

悬臂梁式称重传感器 [P].

程金台 .

中国专利 :CN2903934Y ,2007-05-23

[8]

悬臂梁式称重传感器 [P].

王彬 .

中国专利 :CN2844864Y ,2006-12-06

[9]

双悬臂梁式张力传感器 [P].

汪星星 ;

王建国 .

中国专利 :CN223741811U ,2025-12-30

[10]

双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103985814A ,2014-08-13

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