悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711168782.X

申请日：

2017-11-21

公开(公告)号：

CN108061563A

公开(公告)日：

2018-05-22

发明(设计)人：

单华锋曹辉陈学刚於群王家冬曹凯敏郁源王哲琦

申请人：

申请人地址：

314016 浙江省嘉兴市秀洲区王江泾镇秋茂路158号

IPC主分类号：

G01D512

IPC分类号：

G01N2700

代理机构：

上海汉盛律师事务所 31316

代理人：

郭海锋

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-22	公开	公开
2018-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/12 申请日:20171121

共 50 条

[1]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN207456474U ,2018-06-05

[2]

悬臂梁式压电薄膜加速度传感器 [P].

刘照安 ;

周长阳 ;

刘浩 ;

刘越 ;

惠国政 .

中国专利 :CN217007381U ,2022-07-19

[3]

压电悬臂梁传感器及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103594617A ,2014-02-19

[4]

多层压电薄膜悬臂梁传感器及制备方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 ;

陈力山 ;

张莉玮 .

中国专利 :CN105428519A ,2016-03-23

[5]

压电悬臂梁传感器结构制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103618044A ,2014-03-05

[6]

悬臂梁传感器 [P].

陆芳 ;

陈祺昶 .

中国专利 :CN306477203S ,2021-04-20

[7]

双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103985814A ,2014-08-13

[8]

压电悬臂梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675481B ,2014-03-26

[9]

自励、自感知压电悬臂梁传感器 [P].

拉贾坎努·穆萨拉尚 ;

大卫·马拉尔杜 ;

戈塞特·坎贝尔 ;

基尚·里贾尔 .

中国专利 :CN101371132A ,2009-02-18

[10]

压电薄膜悬臂梁式微力传感器的微力加载装置 [P].

崔岩 ;

董维杰 ;

王兢 ;

陈会林 ;

王立鼎 .

中国专利 :CN100507483C ,2007-10-24

← 1 2 3 4 5 →