自励、自感知压电悬臂梁传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780002971.8

申请日：

2007-01-23

公开(公告)号：

CN101371132A

公开(公告)日：

2009-02-18

发明(设计)人：

拉贾坎努·穆萨拉尚大卫·马拉尔杜戈塞特·坎贝尔基尚·里贾尔

申请人：

申请人地址：

美国宾夕法尼亚

IPC主分类号：

G01N2700

IPC分类号：

G01N2902 G01N29036 B06B106 B81B300 H01L41113

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

孙志湧;陆锦华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-03-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101707559761 IPC(主分类):G01N 27/00 专利号:ZL2007800029718 申请日:20070123 授权公告日:20130501 终止日期:20160123
2013-05-01	授权	授权

共 50 条

[1]

压电悬臂梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675481B ,2014-03-26

[2]

压电悬臂梁传感器及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103594617A ,2014-02-19

[3]

压电悬臂梁传感器结构制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103618044A ,2014-03-05

[4]

悬臂梁传感器 [P].

陆芳 ;

陈祺昶 .

中国专利 :CN306477203S ,2021-04-20

[5]

基于压电悬臂梁的呼吸检测传感器 [P].

谢金 ;

管扬扬 ;

乐先浩 .

中国专利 :CN209678515U ,2019-11-26

[6]

一种压电MEMS悬臂梁式传感器 [P].

王杰军 ;

古元冬 ;

张嵩松 .

中国专利 :CN119018840A ,2024-11-26

[7]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN108061563A ,2018-05-22

[8]

多悬臂梁微波功率传感器 [P].

韩磊 ;

姜文 .

中国专利 :CN203241472U ,2013-10-16

[9]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN207456474U ,2018-06-05

[10]

多层压电薄膜悬臂梁传感器及制备方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 ;

陈力山 ;

张莉玮 .

中国专利 :CN105428519A ,2016-03-23

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