双层压电薄膜悬臂梁传感器结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410200445.4

申请日：

2014-05-13

公开(公告)号：

CN103985814A

公开(公告)日：

2014-08-13

发明(设计)人：

杨冰

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L41113

IPC分类号：

H01L4122

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 41/113 申请公布日:20140813
2014-08-13	公开	公开
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615760414 IPC(主分类):H01L 41/113 专利申请号:2014102004454 申请日:20140513

共 50 条

[1]

压电悬臂梁传感器结构制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103618044A ,2014-03-05

[2]

压电悬臂梁传感器及其制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103594617A ,2014-02-19

[3]

一种压电悬臂梁传感器结构及其制造方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 .

中国专利 :CN105514258A ,2016-04-20

[4]

基于SOI衬底的压电薄膜悬臂梁传感器结构和制造方法 [P].

杨冰 .

中国专利 :CN103715350A ,2014-04-09

[5]

多层压电薄膜悬臂梁传感器及制备方法 [P].

杨冰 ;

周伟 ;

肖慧敏 ;

陈力山 ;

张莉玮 .

中国专利 :CN105428519A ,2016-03-23

[6]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN108061563A ,2018-05-22

[7]

悬臂梁式压电薄膜微弱信号传感器 [P].

单华锋 ;

曹辉 ;

陈学刚 ;

於群 ;

王家冬 ;

曹凯敏 ;

郁源 ;

王哲琦 .

中国专利 :CN207456474U ,2018-06-05

[8]

悬臂梁式压电薄膜加速度传感器 [P].

刘照安 ;

周长阳 ;

刘浩 ;

刘越 ;

惠国政 .

中国专利 :CN217007381U ,2022-07-19

[9]

压电悬臂梁式微型电场传感器 [P].

夏善红 ;

冯可 ;

佟建华 ;

方东明 .

中国专利 :CN103675481B ,2014-03-26

[10]

自励、自感知压电悬臂梁传感器 [P].

拉贾坎努·穆萨拉尚 ;

大卫·马拉尔杜 ;

戈塞特·坎贝尔 ;

基尚·里贾尔 .

中国专利 :CN101371132A ,2009-02-18

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