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一种靶材的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201811625466.5
申请日
:
2018-12-28
公开(公告)号
:
CN111378937A
公开(公告)日
:
2020-07-07
发明(设计)人
:
陈宝忠
徐国军
张蛟
万捷
申请人
:
申请人地址
:
362005 福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号
IPC主分类号
:
C23C1434
IPC分类号
:
B22F315
代理机构
:
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
:
李静
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-07
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20181228
2020-07-07
公开
公开
共 50 条
[21]
一种钽靶材的制备工艺
[P].
同磊
论文数:
0
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同磊
;
陈林
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陈林
;
郑爱国
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郑爱国
;
李桂鹏
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李桂鹏
;
汪凯
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汪凯
;
李兆博
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李兆博
;
程跃伟
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程跃伟
.
中国专利
:CN104480439A
,2015-04-01
[22]
一种氧化铈陶瓷靶材的制备方法
[P].
边逸军
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宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
边逸军
;
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
汪焱斌
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
汪焱斌
;
慕二龙
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
慕二龙
;
陈石
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
陈石
.
中国专利
:CN121135413A
,2025-12-16
[23]
一种梯度烧结制备高密度钼靶材的方法
[P].
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机构:
张石明
;
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机构:
车玉思
;
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张环
;
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赵转
;
卫玉卓
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机构:
郑州大学
郑州大学
卫玉卓
;
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机构:
陈熠
;
阚婷
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机构:
郑州大学
郑州大学
阚婷
.
中国专利
:CN120362476A
,2025-07-25
[24]
一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法
[P].
张凤戈
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张凤戈
;
魏铁峰
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魏铁峰
;
张学华
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张学华
;
岳万祥
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岳万祥
;
张欠男
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张欠男
;
姚伟
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姚伟
.
中国专利
:CN113981388A
,2022-01-28
[25]
一种钼靶材的制备方法
[P].
谢敬佩
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谢敬佩
;
陈艳芳
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陈艳芳
;
苌清华
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苌清华
;
马窦琴
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马窦琴
;
赵海丽
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赵海丽
;
毛爱霞
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毛爱霞
;
王爱琴
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王爱琴
;
王文焱
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王文焱
.
中国专利
:CN110004416A
,2019-07-12
[26]
一种管状靶材的制备方法
[P].
成维
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机构:
深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
成维
;
周贤界
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机构:
深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
周贤界
;
卢晓鹏
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深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
卢晓鹏
;
黄勇彪
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深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
黄勇彪
.
中国专利
:CN118854242B
,2024-12-10
[27]
一种管状靶材的制备方法
[P].
成维
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机构:
深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
成维
;
周贤界
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深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
周贤界
;
卢晓鹏
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机构:
深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
卢晓鹏
;
黄勇彪
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机构:
深圳众诚达应用材料股份有限公司
深圳众诚达应用材料股份有限公司
黄勇彪
.
中国专利
:CN118854242A
,2024-10-29
[28]
一种铜靶材的制备方法
[P].
鄢展圣
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机构:
福建阿石创新材料股份有限公司
福建阿石创新材料股份有限公司
鄢展圣
;
林志河
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机构:
福建阿石创新材料股份有限公司
福建阿石创新材料股份有限公司
林志河
;
林晓明
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机构:
福建阿石创新材料股份有限公司
福建阿石创新材料股份有限公司
林晓明
;
陈辉辉
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机构:
福建阿石创新材料股份有限公司
福建阿石创新材料股份有限公司
陈辉辉
.
中国专利
:CN120696229A
,2025-09-26
[29]
一种热等静压法制备NiFeWAl合金靶材的方法、NiFeWAl合金靶材
[P].
黄东长
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
黄东长
;
王爽
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
王爽
;
颜艳艳
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
颜艳艳
;
童培云
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
童培云
;
高建成
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先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
高建成
.
中国专利
:CN119549715A
,2025-03-04
[30]
一种热等静压法制备NiFeWAl合金靶材的方法、NiFeWAl合金靶材
[P].
黄东长
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
黄东长
;
王爽
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
王爽
;
颜艳艳
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
颜艳艳
;
童培云
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
童培云
;
高建成
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
高建成
.
中国专利
:CN119549715B
,2025-11-25
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