一种靶材的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811625466.5
申请日
2018-12-28
公开(公告)号
CN111378937A
公开(公告)日
2020-07-07
发明(设计)人
陈宝忠 徐国军 张蛟 万捷
申请人
申请人地址
362005 福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
B22F315
代理机构
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
李静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[21]
一种钽靶材的制备工艺 [P]. 
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[25]
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[26]
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成维 ;
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[27]
一种管状靶材的制备方法 [P]. 
成维 ;
周贤界 ;
卢晓鹏 ;
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[28]
一种铜靶材的制备方法 [P]. 
鄢展圣 ;
林志河 ;
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[29]
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黄东长 ;
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颜艳艳 ;
童培云 ;
高建成 .
中国专利 :CN119549715A ,2025-03-04
[30]
一种热等静压法制备NiFeWAl合金靶材的方法、NiFeWAl合金靶材 [P]. 
黄东长 ;
王爽 ;
颜艳艳 ;
童培云 ;
高建成 .
中国专利 :CN119549715B ,2025-11-25