一种靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811625466.5

申请日：

2018-12-28

公开(公告)号：

CN111378937A

公开(公告)日：

2020-07-07

发明(设计)人：

陈宝忠徐国军张蛟万捷

申请人：

申请人地址：

362005 福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F315

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

李静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20181228
2020-07-07	公开	公开

共 50 条

[41]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[42]

一种二硫化钼靶材的制备方法 [P].

康明生 ;

崔娜 ;

朱辉 ;

郄奕 ;

张卫 ;

李松敏 .

中国专利 :CN108640685B ,2018-10-12

[43]

一种高密度IZTO靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

陈光园 ;

王志强 ;

曾探 ;

赵岩 .

中国专利 :CN116768604B ,2024-08-30

[44]

一种SrMoO3陶瓷靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 ;

盛伟 ;

杨晔 ;

兰品军 ;

李佳 ;

黄金华 .

中国专利 :CN109928751A ,2019-06-25

[45]

一种靶材模具及靶材制备装置 [P].

陈宝忠 ;

徐国军 ;

张蛟 ;

万捷 .

中国专利 :CN209986232U ,2020-01-24

[46]

钼铌10靶材的制备方法 [P].

蒋忠于 ;

杜向杰 .

中国专利 :CN103556121A ,2014-02-05

[47]

一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜 [P].

曹永革 ;

邓种华 ;

郭旺 ;

黄常刚 .

中国专利 :CN101985735A ,2011-03-16

[48]

钼钛靶材及其制备方法和应用 [P].

赵娜娜 ;

张泽豪 ;

马晓钰 ;

李继林 ;

钟黎声 ;

邹军涛 ;

许云华 .

中国专利 :CN118064848A ,2024-05-24

[49]

高致密度AZO靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

张凤戈 ;

唐培新 ;

高明 ;

张路长 ;

姚惠龙 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

孙右文 .

中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18

[50]

一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法 [P].

郑作赟 ;

瞿宗宏 ;

宋嘉明 ;

罗成 ;

白瑞敏 ;

何山 ;

王庆相 ;

赖运金 ;

梁书锦 .

中国专利 :CN110670037A ,2020-01-10

← 1 2 3 4 5 →