光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110095839.8

申请日：

2021-01-25

公开(公告)号：

CN113253564A

公开(公告)日：

2021-08-13

发明(设计)人：

柳敏相裵囧洙金钟煜曹河铉

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F126

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

孟伟青;庞东成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/26 申请日:20210125
2021-08-13	公开	公开

共 50 条

[1]

光掩模、光掩模的制造方法、显示装置用器件的制造方法 [P].

柳敏相 ;

裵囧洙 ;

金钟煜 ;

曹河铉 .

日本专利 :CN113253564B ,2025-09-02

[2]

光掩模、光掩模的制造方法、显示装置的制造方法 [P].

田中千惠 ;

齐藤隆史 ;

山田步实 ;

森山久美子 ;

福泉照夫 .

中国专利 :CN114114827A ,2022-03-01

[3]

光掩模的修正方法、光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

三好将之 ;

一之濑敬 .

中国专利 :CN109388018B ,2019-02-26

[4]

光掩模、光掩模的制造方法、光掩模坯料以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN105319831A ,2016-02-10

[5]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107844026A ,2018-03-27

[6]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

李锡薰 ;

柳敏相 ;

薛宰勋 .

日本专利 :CN111624849B ,2024-03-29

[7]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

日本专利 :CN112506002B ,2025-08-01

[8]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107861334A ,2018-03-30

[9]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN112506002A ,2021-03-16

[10]

光掩模、光掩模的制造方法以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN110673436A ,2020-01-10

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