晶圆研磨用定位环

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN01279313.2

申请日：

2001-12-24

公开(公告)号：

CN2517110Y

公开(公告)日：

2002-10-16

发明(设计)人：

陈水源陈水生陈添丁

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹市

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L21304 B24B100

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

戴元毅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2002-10-16	授权	授权
2006-02-15	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2521754Y ,2002-11-20

[2]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2538485Y ,2003-03-05

[3]

晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2447103Y ,2001-09-12

[4]

晶圆研磨定位环 [P].

蒋莉 ;

邵颖 .

中国专利 :CN201136124Y ,2008-10-22

[5]

晶圆研磨定位环 [P].

黄瑞堂 .

中国专利 :CN201346740Y ,2009-11-18

[6]

晶圆研磨定位环 [P].

张伟光 ;

夏志平 .

中国专利 :CN201361816Y ,2009-12-16

[7]

改良的晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2550898Y ,2003-05-14

[8]

改进的晶圆研磨定位环结构 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2570977Y ,2003-09-03

[9]

一种晶圆研磨定位环 [P].

陈水源 ;

陈水生 ;

陈添丁 .

中国专利 :CN2447102Y ,2001-09-12

[10]

晶圆研磨定位环以及化学机械研磨设备 [P].

高思玮 ;

吴端毅 ;

林保璋 ;

张健 ;

张溢钢 .

中国专利 :CN201856158U ,2011-06-08

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