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化学机械研磨设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111489311.5
申请日：
2021-12-07
公开(公告)号：
CN114227528A
公开(公告)日：
2022-03-25
发明(设计)人：
熊超
段贤明
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
B24B3720
IPC分类号：
B24B3734
B24B4900
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
张岳峰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/20 申请日:20211207 |
| 2022-03-25 | 公开 | 公开 |