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光阻涂布装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810880682.8
申请日：
2018-08-04
公开(公告)号：
CN108957957A
公开(公告)日：
2018-12-07
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
618200 四川省德阳市绵竹市富新镇21号
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-07 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20181207 |
| 2019-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180804 |