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光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710071590.0
申请日：
2017-02-09
公开(公告)号：
CN106681105A
公开(公告)日：
2017-05-17
发明(设计)人：
张瑞军
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：
孙伟峰;顾楠楠
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-05-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-25 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20170517 |
| 2017-06-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101726053682 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2017100715900 申请日:20170209 |