涂布机及光阻涂布方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610753527.0

申请日：

2016-08-29

公开(公告)号：

CN106292185A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

袁夏梁

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G02F113

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700831588 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2016107535270 申请日:20160829
2017-01-04	公开	公开
2020-07-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20170104

共 50 条

[1]

光阻涂布机 [P].

聂行健 ;

陈聪文 ;

汪杰 ;

赵敏 .

中国专利 :CN207271550U ,2018-04-27

[2]

光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机 [P].

张瑞军 .

中国专利 :CN106681105A ,2017-05-17

[3]

涂布机及涂布方法 [P].

关敬党 .

中国专利 :CN106076749A ,2016-11-09

[4]

涂布机及涂布方法 [P].

关敬党 .

中国专利 :CN111389665A ,2020-07-10

[5]

阻焊涂布轮及阻焊涂布机 [P].

韦助昌 ;

杨智勤 ;

刘成勇 ;

张建 .

中国专利 :CN209519980U ,2019-10-22

[6]

阻焊涂布轮及阻焊涂布机 [P].

韦助昌 ;

杨智勤 ;

刘成勇 ;

张建 .

中国专利 :CN109569952A ,2019-04-05

[7]

涂布机的光阻胶废液收集装置和涂布机 [P].

辛宪栋 ;

曾凯 ;

曹旭东 .

中国专利 :CN104588279A ,2015-05-06

[8]

涂布机、涂布系统及涂布机清洁方法 [P].

蒋勇 ;

王志强 ;

唐星 ;

李舒 ;

申洋 ;

龚超 .

中国专利 :CN107199188B ,2017-09-26

[9]

涂布机光阻回收系统 [P].

李亚明 ;

彭建中 ;

徐飞 ;

张伟伟 ;

张良 ;

吴昌龙 .

中国专利 :CN108983551A ,2018-12-11

[10]

光阻液储存桶及光阻涂布机 [P].

吴利峰 .

中国专利 :CN107583830A ,2018-01-16

← 1 2 3 4 5 →