涂布机光阻回收系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810962122.7

申请日：

2018-08-22

公开(公告)号：

CN108983551A

公开(公告)日：

2018-12-11

发明(设计)人：

李亚明彭建中徐飞张伟伟张良吴昌龙

申请人：

申请人地址：

210033 江苏省南京市栖霞区仙林大道科技南路南京液晶谷

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

南京君陶专利商标代理有限公司 32215

代理人：

沈根水

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-11	公开	公开
2019-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180822

共 50 条

[1]

光阻涂布机 [P].

聂行健 ;

陈聪文 ;

汪杰 ;

赵敏 .

中国专利 :CN207271550U ,2018-04-27

[2]

光阻供液系统及光阻涂布机 [P].

郭振 .

中国专利 :CN218446375U ,2023-02-03

[3]

涂布机及光阻涂布方法 [P].

袁夏梁 .

中国专利 :CN106292185A ,2017-01-04

[4]

一种光阻涂布机 [P].

吴韦良 .

中国专利 :CN104162496A ,2014-11-26

[5]

光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机 [P].

张瑞军 .

中国专利 :CN106681105A ,2017-05-17

[6]

新型涂布机热能回收系统 [P].

吴荣 .

中国专利 :CN107983604A ,2018-05-04

[7]

光阻容器及涂布机光阻供应系统 [P].

汪杰 ;

陈聪文 ;

聂行健 ;

赵敏 .

中国专利 :CN208098509U ,2018-11-16

[8]

光阻液储存桶及光阻涂布机 [P].

吴利峰 .

中国专利 :CN107583830A ,2018-01-16

[9]

光阻储液罐和光阻涂布机 [P].

孟小龙 .

中国专利 :CN105499081A ,2016-04-20

[10]

一种光阻涂布机 [P].

梁茂忠 .

中国专利 :CN2650890Y ,2004-10-27

← 1 2 3 4 5 →