一种光阻涂布机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310180667.X

申请日：

2013-05-15

公开(公告)号：

CN104162496A

公开(公告)日：

2014-11-26

发明(设计)人：

吴韦良

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

B05C1110

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

竺路玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101592946811 IPC(主分类):B05C 5/02 专利申请号:201310180667X 申请日:20130515
2014-11-26	公开	公开
2017-07-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755310675 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:201310180667X 申请公布日:20141126

共 50 条

[1]

一种光阻储液罐和光阻涂布机 [P].

陈灏渠 .

中国专利 :CN205988843U ,2017-03-01

[2]

光阻涂布机 [P].

聂行健 ;

陈聪文 ;

汪杰 ;

赵敏 .

中国专利 :CN207271550U ,2018-04-27

[3]

一种光阻涂布机 [P].

梁茂忠 .

中国专利 :CN2650890Y ,2004-10-27

[4]

涂布机光阻回收系统 [P].

李亚明 ;

彭建中 ;

徐飞 ;

张伟伟 ;

张良 ;

吴昌龙 .

中国专利 :CN108983551A ,2018-12-11

[5]

涂布机及光阻涂布方法 [P].

袁夏梁 .

中国专利 :CN106292185A ,2017-01-04

[6]

光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机 [P].

张瑞军 .

中国专利 :CN106681105A ,2017-05-17

[7]

一种涂布机光阻输送装置 [P].

范子东 ;

关锐 ;

于雷铜 ;

袁发根 ;

钟素文 .

中国专利 :CN221108802U ,2024-06-11

[8]

一种光阻涂布机清洗方法 [P].

凌坚 .

中国专利 :CN119733719A ,2025-04-01

[9]

光阻液储存桶及光阻涂布机 [P].

吴利峰 .

中国专利 :CN107583830A ,2018-01-16

[10]

光阻储液罐和光阻涂布机 [P].

孟小龙 .

中国专利 :CN105499081A ,2016-04-20

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