光阻涂布装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510442712.3

申请日：

2015-07-25

公开(公告)号：

CN105093578B

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

曾杰李安石

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

G02F113

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-28	授权	授权
2015-11-25	公开	公开
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638520664 IPC(主分类):G02F 1/13 专利申请号:2015104427123 申请日:20150725

共 50 条

[1]

光阻涂布装置及光阻涂布方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN105457843A ,2016-04-06

[2]

光阻涂布装置 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN210742674U ,2020-06-12

[3]

光阻涂布装置 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN211506165U ,2020-09-15

[4]

光阻涂布装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108957957A ,2018-12-07

[5]

光阻涂布装置 [P].

朱浩东 .

中国专利 :CN108873610A ,2018-11-23

[6]

光阻涂布装置 [P].

汪杰 ;

杨莉 .

中国专利 :CN212569417U ,2021-02-19

[7]

光阻涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208673042U ,2019-03-29

[8]

光阻涂布装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108897193A ,2018-11-27

[9]

光阻玻璃涂布装置 [P].

汪良恩 ;

李建利 ;

汪曦凌 .

中国专利 :CN215599503U ,2022-01-21

[10]

光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机 [P].

张瑞军 .

中国专利 :CN106681105A ,2017-05-17

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