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光阻涂布装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021817299.7
申请日：
2020-08-27
公开(公告)号：
CN212569417U
公开(公告)日：
2021-02-19
发明(设计)人：
汪杰
杨莉
申请人：
申请人地址：
215301 江苏省苏州市昆山市龙腾路1号
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
G02F113
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯;张靖琳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-19 | 授权 | 授权 |