一种精确测量离子束束斑宽度的检测系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710175964.X

申请日：

2007-10-17

公开(公告)号：

CN101436523A

公开(公告)日：

2009-05-20

发明(设计)人：

唐景庭邱小莎龙会跃伍三忠郭健辉钟新华

申请人：

申请人地址：

101111北京市中关村科技园通州园光机电一体化产业基地兴光二街6号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21265 G01B2102 H01J37317

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-20	公开	公开
2011-01-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101058457676 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:200710175964X 公开日:20090520
2008-02-27	地址不明的通知	地址不明的通知收件人:刘敏文件名称:补正通知书
2009-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

[2]

一种精确检测和校正离子束平行度的方法及装置 [P].

邱小莎 ;

钟新华 ;

龙会跃 .

中国专利 :CN101764029A ,2010-06-30

[3]

离子束检测系统及方法、离子注入机 [P].

黄家明 .

中国专利 :CN109841472A ,2019-06-04

[4]

一种离子束采集方法 [P].

王高腾 .

中国专利 :CN103794447B ,2014-05-14

[5]

一种离子束束流扫描方法 [P].

程鹏飞 .

中国专利 :CN108933073A ,2018-12-04

[6]

一种离子束流glitch规避装置及方法 [P].

王高腾 .

中国专利 :CN104022007A ,2014-09-03

[7]

一种离子束检测装置及检测系统 [P].

金杰 ;

赵一州 ;

谷佳宾 ;

李知宇 .

中国专利 :CN118438266A ,2024-08-06

[8]

一种离子束检测装置 [P].

李晨冉 ;

梁旭 .

中国专利 :CN105895479B ,2016-08-24

[9]

一种带状离子束注入系统 [P].

彭强祥 ;

林家杰 ;

刘仁杰 ;

欧欣 .

中国专利 :CN114724910A ,2022-07-08

[10]

离子束均匀性的检测方法 [P].

阳厚国 .

中国专利 :CN103367187B ,2013-10-23

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