一种离子束采集方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310557474.1

申请日：

2013-11-08

公开(公告)号：

CN103794447B

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

王高腾

申请人：

申请人地址：

101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113

代理人：

马强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582907138 IPC(主分类):H01J 37/244 专利申请号:2013105574741 申请日:20131108
2022-05-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/244 登记生效日:20220426 变更事项:专利权人变更前权利人:北京中科信电子装备有限公司变更后权利人:北京烁科中科信电子装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号变更后权利人:101111 北京市通州区兴光二街6号1幢1层
2016-02-10	授权	授权
2014-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种离子束流采集装置 [P].

李幸夫 .

中国专利 :CN105895480A ,2016-08-24

[2]

离子束照射装置及离子束照射方法 [P].

小野田正敏 ;

后藤亮介 ;

永尾友一 ;

宇井利昌 .

日本专利 :CN117790320A ,2024-03-29

[3]

一种离子束辐照装置 [P].

戴学树 .

中国专利 :CN106856158A ,2017-06-16

[4]

一种离子束流glitch规避装置及方法 [P].

王高腾 .

中国专利 :CN104022007A ,2014-09-03

[5]

一种离子束束流扫描方法 [P].

程鹏飞 .

中国专利 :CN108933073A ,2018-12-04

[6]

离子束刻蚀方法 [P].

胡咏兵 .

中国专利 :CN119890037A ,2025-04-25

[7]

一种离子束测量用信息采集设备 [P].

左飞龙 ;

余益飞 ;

付德春 .

中国专利 :CN220585181U ,2024-03-12

[8]

一种精确测量离子束束斑宽度的检测系统及方法 [P].

唐景庭 ;

邱小莎 ;

龙会跃 ;

伍三忠 ;

郭健辉 ;

钟新华 .

中国专利 :CN101436523A ,2009-05-20

[9]

一种离子束导管 [P].

R·D·戈德堡 .

中国专利 :CN101140847B ,2008-03-12

[10]

离子束浓度的检测方法及离子束检测系统 [P].

张伟 .

中国专利 :CN103295864B ,2013-09-11

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