一种离子束导管

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710136246.1

申请日：

2007-07-12

公开(公告)号：

CN101140847B

公开(公告)日：

2008-03-12

发明(设计)人：

R·D·戈德堡

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3702

IPC分类号：

H01J37317 H01L21265

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司 11245

代理人：

赵蓉民

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101586607994 IPC(主分类):H01J 37/02 专利号:ZL2007101362461 申请日:20070712 授权公告日:20110601 终止日期:20130712
2008-03-12	公开	公开
2009-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-06-01	授权	授权

共 50 条

[1]

离子束导管 [P].

杰弗里·赖丁 ;

格雷戈里·罗伯特·奥尔科特 ;

李·斯普拉根 ;

罗伯特·米切尔 ;

马丁·希尔金 ;

马修·卡斯尔 ;

马文·法利 .

中国专利 :CN101504906A ,2009-08-12

[2]

离子束监测装置 [P].

A·J·默雷尔 ;

B·哈理森 ;

P·爱德华兹 ;

P·坎德斯利 ;

R·米切尔 ;

T·H·斯米克 ;

G·莱丁 ;

M·法利 ;

T·伊藤忠 .

中国专利 :CN1638014B ,2005-07-13

[3]

离子束电荷量控制方法 [P].

朱津泉 .

中国专利 :CN101153383B ,2008-04-02

[4]

离子束电荷量控制方法 [P].

朱津泉 .

中国专利 :CN101153382A ,2008-04-02

[5]

离子束照射装置及离子束照射方法 [P].

小野田正敏 ;

后藤亮介 ;

永尾友一 ;

宇井利昌 .

日本专利 :CN117790320A ,2024-03-29

[6]

一种离子束束流扫描方法 [P].

程鹏飞 .

中国专利 :CN108933073A ,2018-12-04

[7]

一种离子束减速装置 [P].

马国宇 .

中国专利 :CN103779164B ,2014-05-07

[8]

一种离子束采集方法 [P].

王高腾 .

中国专利 :CN103794447B ,2014-05-14

[9]

一种离子束分析装置 [P].

陈炯 ;

卢合强 ;

陈维 .

中国专利 :CN221841794U ,2024-10-15

[10]

离子束蚀刻设备 [P].

张容浩 ;

张博钦 ;

林立德 ;

林斌彦 .

中国专利 :CN115497802A ,2022-12-20

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