低温多晶硅薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310123443.1

申请日：

2003-12-29

公开(公告)号：

CN1635610A

公开(公告)日：

2005-07-06

发明(设计)人：

张世昌洪郁婷江典声李光振林敬伟蔡耀铭

申请人：

申请人地址：

中国台湾

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21324 H01L2130 H01L21477 H01L21461

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101003710410 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2003101234431 公开日:20050706
2005-07-06	公开	公开
2005-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜制造方法 [P].

颜硕廷 .

中国专利 :CN101168474B ,2008-04-30

[2]

低温多晶硅薄膜的制造方法 [P].

翁健森 ;

张茂益 ;

张志清 .

中国专利 :CN100349259C ,2004-10-13

[3]

低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及低温多晶硅TFT基板 [P].

张瑞军 ;

卢马才 ;

王松 .

中国专利 :CN108831894A ,2018-11-16

[4]

低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

陈韵升 .

中国专利 :CN1259693C ,2004-10-27

[5]

低温多晶硅薄膜的制备方法、制备设备及低温多晶硅薄膜 [P].

张隆贤 ;

余威 .

中国专利 :CN104404617A ,2015-03-11

[6]

一种低温多晶硅薄膜的制备方法及低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102651311B ,2012-08-29

[7]

低温多晶硅薄膜的制备方法 [P].

彭思君 ;

吴建宏 ;

刘冲 ;

严晓龙 .

中国专利 :CN104167349A ,2014-11-26

[8]

制作低温多晶硅薄膜的方法 [P].

张志雄 ;

陈亦伟 ;

孙铭伟 .

中国专利 :CN100433242C ,2005-05-11

[9]

一种低温多晶硅薄膜的制作方法和低温多晶硅薄膜 [P].

田雪雁 ;

龙春平 ;

姚江峰 .

中国专利 :CN102709160B ,2012-10-03

[10]

低温多晶硅的制作方法、低温多晶硅薄膜和薄膜晶体管 [P].

田雪雁 .

中国专利 :CN103219230B ,2013-07-24

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