浅沟槽隔离结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410060637.X

申请日：

2014-02-21

公开(公告)号：

CN103839868A

公开(公告)日：

2014-06-04

发明(设计)人：

宋振伟徐友峰陈晋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-04	公开	公开
2014-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583367892 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201410060637X 申请日:20140221
2017-08-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757810331 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:201410060637X 申请公布日:20140604

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103199052A ,2013-07-10

[2]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

何永根 ;

陈勇 .

中国专利 :CN102122630A ,2011-07-13

[3]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103236416A ,2013-08-07

[4]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN102487034A ,2012-06-06

[5]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

宋化龙 .

中国专利 :CN103295950B ,2013-09-11

[6]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102097356B ,2011-06-15

[7]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

倪百兵 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN101728307A ,2010-06-09

[8]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

韦庆松 ;

彭树根 .

中国专利 :CN102456607A ,2012-05-16

[9]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

王津洲 ;

高大为 .

中国专利 :CN101728308A ,2010-06-09

[10]

浅沟槽隔离区的制作方法 [P].

唐兆云 .

中国专利 :CN101969039A ,2011-02-09

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