浅沟槽隔离结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310121621.0

申请日：

2013-04-09

公开(公告)号：

CN103236416A

公开(公告)日：

2013-08-07

发明(设计)人：

张明华严钧华黄耀东方精训彭树根

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101514732506 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013101216210 申请日:20130409
2013-08-07	公开	公开
2016-07-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735272533 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013101216210 申请公布日:20130807

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103199052A ,2013-07-10

[2]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

宋振伟 ;

徐友峰 ;

陈晋 .

中国专利 :CN103839868A ,2014-06-04

[3]

浅沟槽隔离的制作方法 [P].

曹永峰 .

中国专利 :CN102354679A ,2012-02-15

[4]

浅沟槽隔离结构制作方法 [P].

胡亚兰 ;

刘佳磊 .

中国专利 :CN102130036A ,2011-07-20

[5]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102097356B ,2011-06-15

[6]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

何永根 ;

陈勇 .

中国专利 :CN102122630A ,2011-07-13

[7]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

倪百兵 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN101728307A ,2010-06-09

[8]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

韦庆松 ;

彭树根 .

中国专利 :CN102456607A ,2012-05-16

[9]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN102487034A ,2012-06-06

[10]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

王津洲 ;

高大为 .

中国专利 :CN101728308A ,2010-06-09

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