一种MOCVD设备新型喷淋头装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020293613.6
申请日
2010-08-17
公开(公告)号
CN201785486U
公开(公告)日
2011-04-06
发明(设计)人
彭继忠
申请人
申请人地址
201204 上海市浦东新区白杨路199弄4号601室
IPC主分类号
C23C1644
IPC分类号
C23C16455 C23C1618
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
郭蔚
法律状态
避免重复授权放弃专利权
国省代码
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