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一种MOCVD设备新型喷淋头装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020293613.6
申请日：
2010-08-17
公开(公告)号：
CN201785486U
公开(公告)日：
2011-04-06
发明(设计)人：
彭继忠
申请人：
申请人地址：
201204 上海市浦东新区白杨路199弄4号601室
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
C23C16455
C23C1618
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
郭蔚
法律状态：
避免重复授权放弃专利权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-02-15 | 避免重复授权放弃专利权 | 避免重复授权放弃专利权 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101283123540 IPC(主分类):C23C 16/44 专利号:ZL2010202936136 申请日:20100817 授权公告日:20110406 放弃生效日:20120215 |
| 2011-04-06 | 授权 | 授权 |