一种MOCVD设备的喷淋装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721649992.6

申请日：

2017-11-30

公开(公告)号：

CN207581933U

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

张新云

申请人：

申请人地址：

102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京维澳专利代理有限公司 11252

代理人：

周放;姜溯洲

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种MOCVD设备的喷淋装置 [P].

李瑞 ;

陈爱华 ;

吕青 ;

施广涛 ;

任鑫宇 .

中国专利 :CN216864380U ,2022-07-01

[2]

一种MOCVD设备的喷淋装置 [P].

沈亚南 .

中国专利 :CN223201914U ,2025-08-08

[3]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

张之 ;

方海生 ;

蒋志敏 ;

郑江 ;

刘胜 ;

甘志银 .

中国专利 :CN204401102U ,2015-06-17

[4]

一种MOCVD设备新型喷淋头装置 [P].

彭继忠 .

中国专利 :CN201785486U ,2011-04-06

[5]

一种用于MOCVD设备的喷淋头 [P].

张之 ;

方海生 ;

蒋志敏 ;

郑江 ;

刘胜 ;

甘志银 .

中国专利 :CN104498904B ,2015-04-08

[6]

喷淋头装置及MOCVD设备 [P].

贾蕾 ;

童翔 .

中国专利 :CN210001931U ,2020-01-31

[7]

MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 [P].

谭华强 ;

黄允文 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103409730A ,2013-11-27

[8]

一种MOCVD设备的喷淋结构 [P].

杜广煜 ;

万亿 ;

陈志立 ;

梁帅 ;

倪岩松 .

中国专利 :CN113549899B ,2021-10-26

[9]

一种MOCVD设备的喷淋头 [P].

王钢 ;

李健 ;

范冰丰 ;

蔡健栋 ;

吴飞飞 .

中国专利 :CN104630747A ,2015-05-20

[10]

一种MOCVD设备反应室喷淋口的清洁装置 [P].

仇成功 ;

赵海明 ;

胡新星 ;

左万胜 ;

刘敏 ;

唐建平 ;

王丽多 ;

袁松 ;

钮应喜 .

中国专利 :CN216574396U ,2022-05-24

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20191129 变更事项:专利权人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:深圳市永盛隆科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后权利人:518112 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区东方盛世C栋2单元403
2018-07-06	授权	授权
2019-12-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:北京创昱科技有限公司变更后:东泰高科装备科技（北京）有限公司变更事项:地址变更前:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
2021-03-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20210301 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳市永盛隆科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:518112 广东省深圳市龙岗区布吉街道金排社区东方盛世C栋2单元403 变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2019-12-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:东泰高科装备科技（北京）有限公司变更后:东泰高科装备科技有限公司变更事项:地址变更前:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室