互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310102969.1

申请日：

2003-10-31

公开(公告)号：

CN1501471A

公开(公告)日：

2004-06-02

发明(设计)人：

拉里·克莱文格斯坦利·J·克莱佩斯陆晓玲杰弗里·R·马里诺安德鲁H·西蒙王允愈黄洸汉杨启超

申请人：

申请人地址：

美国纽约州

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23522

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101372517656 IPC(主分类):H01L 21/768 专利号:ZL2003101029691 申请日:20031031 授权公告日:20060531 终止日期:20111031
2004-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-05-31	授权	授权
2004-06-02	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

陈丙晨 ;

吴佳宏 ;

张文广 .

中国专利 :CN115148664A ,2022-10-04

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

林育蔚 ;

吴胜郁 ;

曾裕仁 ;

郭庭豪 ;

陈承先 .

中国专利 :CN108281410A ,2018-07-13

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

郭家邦 ;

蓝若琳 ;

杨竣翔 ;

高铭远 ;

林其锋 .

中国专利 :CN118431190A ,2024-08-02

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

于海龙 ;

荆学珍 ;

张浩 ;

肖张茹 .

中国专利 :CN114078745A ,2022-02-22

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

金书正 ;

高铭远 ;

牛振仪 ;

林彦均 ;

彭馨莹 ;

张智翔 ;

李佩璇 ;

林其锋 ;

纪志坚 ;

苏鸿文 .

中国专利 :CN114823494A ,2022-07-29

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

S·V·源 ;

M·莱恩 ;

S·M·盖茨 ;

刘小虎 ;

V·J·麦加海伊 ;

S·C·梅赫塔 ;

T·M·肖 .

中国专利 :CN1783479A ,2006-06-07

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

林育蔚 ;

吴胜郁 ;

曾裕仁 ;

郭庭豪 ;

陈承先 .

中国专利 :CN103681615A ,2014-03-26

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

尼古拉斯·C.·弗勒 ;

蒂莫西·约瑟夫·达尔顿 ;

萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 .

中国专利 :CN101000904A ,2007-07-18

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

威廉·R·汤蒂 ;

杰克·A·曼德尔曼 ;

杨启超 ;

许履尘 .

中国专利 :CN101188223A ,2008-05-28

← 1 2 3 4 5 →